我國首臺具有自主知識產(chǎn)權的硅電容傳感器日前在沈陽問世。11月29日，中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會、中國機械工業(yè)集團公司、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會聯(lián)合舉辦了硅電容、硅壓阻復合傳感器推研會。專家認為，這兩種產(chǎn)品達到了當今國際先進水平，填補了國內(nèi)空白，將改變我國企業(yè)一直靠進口硅電容傳感器的歷史。 
　　傳感器是工業(yè)自動化控制領域很重要的部件，目前，我國高性能傳感器基本依賴進口，嚴重阻礙了相關變送器產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，牽制和影響了民族產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在國家“863”計劃、國家中小企業(yè)創(chuàng)新基金、科技部新產(chǎn)品專項基金的支持下，沈陽儀表科學研究院研制成功硅電容、硅壓阻復合傳感器。該院是傳感器國家工程研究中心的依托單位，傳感器生產(chǎn)的工藝條件、設備條件在國內(nèi)處于領先地位。科研人員通過技術攻關，突破了影響傳感器性能的多項工藝難點和關鍵技術，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補償效應，核心元件采用微機械加工技術，溫度范圍寬，精度高，穩(wěn)定性好，成功實現(xiàn)了新型高性能傳感器的自主開發(fā)和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復合傳感器，是能同時感受兩種或兩種以上不同被測量參數(shù)并轉換成可用信號輸出的傳感器，滿足了工業(yè)智能儀表用傳感器的需求。這兩種產(chǎn)品的問世并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，提升了我國壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業(yè)與國外產(chǎn)品差距，填補了我國自主生產(chǎn)智能儀表的空白。