日本信息通信研究機(jī)構(gòu)納米科技部門,神戶尖端ICT研究中心最近開(kāi)發(fā)出了體積和重量?jī)H為傳統(tǒng)產(chǎn)品1/10左右的離子泵。尺寸為直徑100mm×長(zhǎng)200mm，重1.3kg。產(chǎn)品將用于電子顯微鏡和可搬運(yùn)10-8～10-9Torr（10-6～10-7Pa）高真空環(huán)境的小型真空設(shè)備。

離子泵總重量為6kg左右，使用4節(jié)5號(hào)干電池可連續(xù)工作20小時(shí)。該離子泵采用的材料輕于真空泵常用的不銹鋼，且通過(guò)把電極結(jié)構(gòu)從以往的二維改為三維，使小型化和低電壓、低電流驅(qū)動(dòng)成為了可能，從而成功實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化